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測定器

X線光電子分光装置 KRATOS ULTRA2

※2024年1月導入予定※

【用途】
X線を照射した時に放出される光電子のエネルギーをもとに、固体の表面分析を行うシステムになります。
固体表面(数nm)の元素分析(Li~)
化学状態分析
相対定量分析
エッチングイオン銃を使用した深さ方向の分析

【台数】1台
【設置場所】産業科学研究所総合解析センター 101室

詳細情報

X線源
Al/AgデュアルモノクロメーターX線源(Ag Lα:2984.2eV)
Mg/AlデュアルアノードX線源
分析径
15μmφ,27μmφ,55μmφ,110μmφ,700×300μm
イメージング機能
エッチングイオン銃
Arガスクラスターイオン銃
イオン散乱分光(ISS)
分析室内試料加熱冷却

この機器に関するより詳しい情報は以下のリンクをご参照下さい。
イメージングX線光電子分析装置 KRATOS ULTRA2 (英国名AXIS Supra) | 株式会社島津製作所